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光学表面分析仪
概述

    光学表面分析仪是指将偏振光椭圆率测量、反射测量、散射测量、显微光波干涉测量等多种方法集成于一体,一次性检测材料的所有缺陷的仪器设备。由于不同缺陷产生的信号,容易被一种光学技术探测,但采用另一种技术时,却很难发现1。例如,表面光度仪能发现小丘,或透明晶片上的类似问题,但沾污只能用椭偏计或反射计探测。同样地,散射计不能探测的浅坑,用椭偏计却能清楚地探测出来。因此此种仪器应运而生。

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