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光学加工 >> 等离子体表面处理仪
SAT220Pro等离子清洗机
SAT220Pro等离子清洗机图片
型号: SAT220Pro
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型号:SAT220Pro
仪器产地:国产等离子体表面处理仪
产品介绍
  •          SAT 220Pro 等离子清洗机是一款高频,内置两路质量流量计(MFC)的等离子清洗机,高配置、高性价比。它通过改变材料表面的化学性质和物理形态,从根本上解决了粘接、涂覆、焊接和清洁等工艺难题。


主要特点:

  1.实时检测和显示真空度,使得机器在智能控制下有了可靠的依据.

  2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.

  3.真空腔体采用铰链侧开门结构,带有观察窗,材料为6061材质.

  4.真空腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.

  5.电容式(CCP)激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.

  6.触摸屏+内置计算机显示控制,手动自动两种模式任意切换.

  7.程序化设计,预先编辑好程序,仪器自动完成实验.

  8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应,使材料表面成分、组成和结构发生变化,并能得到某些特定的基团。

  9.无需任何耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可。

  技术规格参数

型号:SAT 220Pro



※不锈钢腔体

Φ110 mm×L255mm

※射频频率

13.56MHz ,配置自动匹配器

※射频功率

最高150W,0到150W可调,精度:1瓦,

※辉光放电最低功率

最低辉光放电功率:10W

辉光放电时间设定

1秒到99分59秒

气路设置

3气路(两路进气,一路放空)

工作气体稳定时间

气体稳定时间:可调整,可设定,范围:0--180秒

※进气控制

两路质量流量计控制(内置两路MFC)

工作气体

空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可;

也可接入无腐蚀性、无毒的工作液体溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液体需要选配接枝仪来配套使用。

进气压力

空气常压,连接钢瓶:0.1-0.2Mpa

真空泵

可选机械油泵或者干泵

电  源

~220V/50Hz

整机尺寸(宽*深*高)

440X490X482mm

重  量(约)

31KG

      等离子清洗机主要应用包括:1.表面清洁2.表面活化3.键合4.去胶5.金属还原6.简单刻蚀7.去除表面有机物8.疏水实验9.沉积实验10.形成新的基团11.镀膜前处理等,几乎涵盖了所有制造业:

  1.半导体与集成电路:晶圆清洗、引线框架清洁、芯片封装前处理,提高金线键合强度和封装可靠性。

  2.光电与显示行业:LCD/OLED屏贴合前的清洗与活化,确保无气泡贴合;柔性电路板(FPC)的表面清洁与粗化。

  3.汽车制造:发动机油封、车灯粘接、内饰件涂装前的表面活化,保证粘接牢固、油漆不脱落。

  4.医疗技术与生物材料:注射器、导管、手术器械的亲水化处理;医用硅胶件的表面活化;人造骨骼、牙科种植体的表面处理,以促进细胞附着。

  5.塑料橡胶行业:解决PP、PE、PTFE(特氟龙)等难粘材料的粘接问题;塑料件喷涂、印刷前的表面处理。

  6.精密机械与科研:航空航天部件、光学元件的超洁净清洗;新材料表面的研究与改性。


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