XUV® 系列设备的真空测量室能够通过 X 射线荧光分析 (RFA) 检测原子序数从Na(11)开始的轻元素。由于空气会吸收轻元素的荧光X射线，因此在大气环境中通常无法使用该方法。因此，该仪器非常适合对要求严苛的镀层厚度进行测量和材料分析。特性：

检出限低、重复精度高，以及测量适用性广，因此特别适用于研究和开发使用

配备真空测量室和高性能硅漂移探测器，能够实现精确测量，尤其是对轻元素的测试

通过可编程 X、Y 和 Z 轴进行自动测试

准直器和滤波器可切换，因此可适用于各种材料和测试条件

应用：

涂层厚度测量

原子序数从Na(11)开始的轻元素镀层，可测量厚度低至纳米级

铝镀层和硅镀层

材料分析

测定宝石的真伪与原产地

常规材料分析和取证

高分辨率痕量分析