类型

测量头

拍摄元件

1 型　2000 万像素　黑白 CMOS

显示器

10.4 型 LCD 显示器(XGA: 1024 × 768)

受光镜头

双远心镜头

图像测量

视野

广视野测量模式

225 mm × 125 mm

高精度测量模式

206 mm × 106 mm

最小显示单位

0.1 µm

重复精度

视野内(2σ)

广视野测量模式

±0.5 µm

高精度测量模式

±0.1 µm

有座标台移动

X/Y 轴

±0.9 µm

XY 平面

测量精度

视野内(2σ)

广视野测量模式

±2 µm*1

高精度测量模式

±0.7 µm*2

有座标台移动

X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L) µm*3

XY 平面(EUXY , MPE)

±(2.8 + 0.02 L) µm*3

AF 高度测量

重复精度

±2 µm

测量精度（EUZ,MPE）

±(4.8 + 0.04 L) µm*4

外部遥控输入

无源触点输入(有接点/ 无接点)

外部输出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 输出
额定负载 DC 24 V、0.5 A
ON 电阻　50 mΩ 以下

接口

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

2 组( 背面 2 组)

USB 2.0 Series A

4 组( 前面 2 组、背面 2 组)

显示器输出

DVI-D

存储

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透过

远心透过照明

落射

4 分割多角度照明(电动)
环状(指向性)侧射照明(电动)
远心同轴照明

外部照明控制

光量控制

PWM 控制 100 kHz

输出电压

12 VDC

输出电流

1.6 A(最大)

XY 座标台

移动范围

200 mm × 100 mm(电动)

承受负重

7 kg

Z 座标台

移动范围

75 mm(电动)

电源

电源电压

100 至 240 VAC ± 10％ (50/60 Hz)

消耗功率

430 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+10 至 35℃*5

相对湿度

20 至 80%RH(无结露)

过电压类别

Ⅱ

污染等级

2

重量

约 30 kg

*1 在 20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23±1℃ 的情况下
*2 在 5 mm × 5 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23±1℃ 的情况下
*3 参考 ISO10360-7，于调焦点位置、使用环境温度 +23±1℃、座标台载重 2 kg 以下时，L 为 XY 座标台移动量(mm)
*4 参考 ISO10360-7，在使用环境温度 +23 ±1℃、测量最大高度设定在 50 mm 以下时，L 为 Z 座标台移动量(mm)
*5 XY 座标台移动速度 80 mm/s 时为 + 15 至 35℃