5千瓦，直流至28兆赫精密射频负载8921SC13，13.56 MHz超稳定油介质射频终端为了实现大的工艺重复性和一致性，现代等离子体应用需要精确的射频功率调节和控制。这是确保准确和安全的关键组成部分；将可重复的射频功率输送至腔室的过程包括校准、调节和校准；监测射频发生器。当与精密功率传感器（如Bird 4020系列）一起使用时，Bird现在提供超稳定、低电压驻波比负载，用于快速精确地测量发电机功率输出。8921SC13不仅提供较低的驻波比，而且在工艺临界频率下的驻波比总变化小于0.1 dB。由于校准时间长度不同，因此无需进行负载预热或重复性风险。这可以小化与该校准相关的误差，并控制一个更关键的过程变量。