1%精度的连续波和脉冲功率传感器非常准确！7027系列内嵌式射频功率传感器为需要精确射频功率测量的应用（如半导体、医疗和激光行业）带来了市场上个可追踪的测量精度。伯德先进的连续波和脉冲传感器，大限度地降低射频过程的可变性，改善等离子体室与等离子体室之间的匹配，并为您的射频传输系统提供关键的洞察力。整个工作范围内的高精度借助Bird尖端的校准技术，在整个动态范围内保证1%的精度，确保单元间的可重复性，减少工艺变化。无开关模式的连续波和脉冲功率测量无论您使用的是连续波还是脉冲射频，这两种测量都会使用伯德功率计自动显示，无需切换模式。多电平脉冲测量定制复杂的工艺配方测量，每个脉冲内多有4个间隔。产品特点时域显示NIST可追踪校准谐波滤波外部同步输入射频互锁（可选）使用SCPI命令集进行编程利益通过射频发生器校准和验证，这些高精度传感器为射频发生器输出提供了信心。使用VPM3-MSP软件记录和分析来自实验配方的射频功率数据，以实现更优化的工艺开发。-->使用VPM3记录和分析来自实验配方的射频功率数据，以实现更精简的工艺开发。现场流程监控允许在运行时实时监控流程，以检测异常。射频脉冲波形的时域分析提供了对高功率射频脉冲的更仔细的观察。产品选择指南型号频率（兆赫）功率范围脉冲重复率7027-1-524001-xxyy0.4 ± 10%瓦至25千瓦10 Hz至11.25 kHz7027-1-544601-xxyy2.0 ± 10瓦至5千瓦10赫兹至50千赫7027-1-594301-xxyy13.56 ± 50瓦至10千瓦100赫兹至100千赫7027-1-604801-xxyy27.12 ± 5瓦至3千瓦100赫兹至100千赫7027-1-615501-xxyy40.68 ± 5u瓦至7.5千瓦100赫兹至100千赫7027-1-624901-xxyy60.0 ± 50瓦至6千瓦100赫兹至100千赫连接器选件（xxyy）：7/16 DIN、N、HN、LC、QRM和其他可根据要求提供的选件。注:脉冲功率传感器可在单个脉冲内测量4种状态。根据重复频率，小状态宽度约为脉冲重复频率周期的1%。根据重复频率，大状态宽度约为脉冲重复频率周期的99%。对于重复率接近规范低或高极限的应用，请参阅用户手册以了解确切限值。