CAS 19824-59-0; tantalum pentakis(dimethylamide)

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CAS:

19824-59-0

分子式:

C₁₀H₃₀N₅Ta

分子量:

401.33

沸点:

100℃(0.0

熔点:

150℃

英文名称:

tantalum pentakis(dimethylamide)

推荐供应商

货号

品牌

产品名称

规格

包装、参考价格

P920671

MACKLIN

五(二甲氨基)钽(V)

99%

2555元/5g;

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储存：室温,干燥,密封,充气

73-0800

Strem

Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

min 98% PDMAT

975元/1g; 3930元/5g; 15705元/25g;

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Catalvsis Applications

Technical Notes:

1. Catalyst for the direct hydroaminoalkylation of unactivated olefins with N-alkyI arylamines, dialkylamines and of secondary amines.

References:

1.J.Am Chem Soc 2007.129 6690

2.J.Am Chem Soc 2008 130 14940

3.Angew Chem. Int. Ed 2009 48 8361

CVD/ALD Applications

Technical Notes:

1.ALD/CVD precursor for tantalum thin film deposition

496863

Sigma-Aldrich

Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

99.99%

3594.87元/5 G;

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产品说明

一般描述

基材原子数：73 钽

包装

5 g in glass bottle

特点和优势

氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O₂、H₂O、NO 或 H₂O₂ 时，还会形成氧化钽 (Ta₂O₅) 薄膜。 Ta₂O₅ 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。

基本信息

线性分子式	Ta(N(CH₃)₂)₅
分子量	401.33
MDL编号	MFCD01631286
PubChem化学物质编号	24873088
NACRES	NA.23

产品性质

质量水平	100
测定	99.99%
形式	solid
reaction suitability	core: tantalum reagent type: catalyst
mp	100 ℃ (dec.) (lit.)
SMILES string	CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI	1S/5C2H6N.Ta/c51-3-2;/h51-2H3;/q5*-1;+5
InChI key	VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图
警示用语：	Danger
危险声明	H228 - H260 - H314
预防措施声明	P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
危险分类	Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 1
补充剂危害	EUH014
储存分类代码	4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
WGK	WGK 3
闪点(F)	Not applicable
闪点(C)	Not applicable
个人防护装备	Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges

CAS号首数字顺序排列： 1 2 3 4 5 6 7 8 9