CAS 19782-68-4; 四(二甲基氨基)铪 (Ⅳ); tetrakis(dimethylamido)hafnium(iv)

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T922507

MACKLIN

四（二甲胺基）铪

99.9999% metals basis

14899元/25g; 38999元/100g;

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储存：室温,干燥
状态：无色或白色到浅黄色粉末或晶体或固体或液体

T787390

MACKLIN

四（二甲胺基）铪

99.99%

916元/1g; 3200元/5g; 11100元/25g;

展开

储存：室温,干燥

72-8000

Strem

Tetrakis(dimethylamino)hafnium

98+% (99.99+%-Hf, <0.2% Zr) TDMAH, PURATREM

1455元/1g; 3840元/5g; 11460元/25g;

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Technical Notes:

1.ALD/CVD precursor for Hf thin film deposition.

References:

1. Chem. Mater. 2002. 14, 4350.

2.J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 3518.

3.Appl. Phys. L ett. 2007, 90, 182907.

4.Chem. Mater. 2004, 16.3497 .

5.Chem. Mater._ 2001 A 13. 2463.

6.Appl.Surf._ Sci.. 2014. 321, 214.

7.Adv. Mater. Interfaces 2020, Z, 2001493.

98-4022

Strem

Tetrakis(dimethylamino)hafnium

98+% (99.99+%-Hf, <0.2%-Zr) TDMAH, PURATREM, 72-8000, contained in 50ml Swagelok? cylinder (96-1071) for CVD/ALD

27510元/25g;

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98-4021

Strem

Tetrakis(dimethylamino)hafnium

98+% (99.99+%-Hf, <0.2%-Zr) TDMAH, PURATREM, 72-8000, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD

23850元/25g;

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455199

Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

≥99.99%

12588.6元/25 G;

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产品说明

一般描述

请咨询批量、价格和包装选择。

包装

25 g in ampule

分析说明

纯度：锆含量低于 ~2000ppm。

基本信息

线性分子式	[(CH₃)₂N]₄Hf
分子量	354.79
MDL编号	MFCD01862473
PubChem化学物质编号	24869038
NACRES	NA.23

产品性质

质量水平	100
测定	≥99.99%
形式	low-melting solid
reaction suitability	core: hafnium
mp	26-29 ℃ (lit.)
密度	1.098 g/mL at 25 ℃
SMILES string	CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI	1S/4C2H6N.Hf/c41-3-2;/h41-2H3;/q4*-1;+4
InChI key	ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图
警示用语：	Danger
危险声明	H228 - H261 - H314
预防措施声明	P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P310 - P422
危险分类	Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2
补充剂危害	EUH014
储存分类代码	4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
WGK	WGK 3
个人防护装备	Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges

666610

Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

packaged for use in deposition systems

25165.7元/25 G;

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产品说明

一般描述

铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。

应用

用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体，其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。
为沉积系统包装的前体

包装

25 g in stainless steel cylinder

基本信息

线性分子式	[(CH₃)₂N]₄Hf
分子量	354.79
MDL编号	MFCD01862473
PubChem化学物质编号	24884811
NACRES	NA.23

产品性质

质量水平	100
测定	≥99.99% (trace metals analysis)
形式	low-melting solid
reaction suitability	core: hafnium
mp	26-29 ℃ (lit.)
密度	1.098 g/mL at 25 ℃
SMILES string	CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI	1S/4C2H6N.Hf/c41-3-2;/h41-2H3;/q4*-1;+4
InChI key	ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图
警示用语：	Danger
危险声明	H228 - H261 - H314
预防措施声明	P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
危险分类	Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2
补充剂危害	EUH014
储存分类代码	4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
WGK	WGK 3
闪点(F)	109.4 °F - closed cup
闪点(C)	43 ℃ - closed cup
个人防护装备	Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges