高分辨率三维显微CL(Computed Laminography)系统(3D Micro-CL),采用倾斜扫描方式解决了传统CT无法对板状物体进行高分辨率扫描成像的问题,具有自由度高、放大比可调、大视野、高分辨、快速重建等优点,可用于芯片封装、电路板、板状化石等物体的2D/3D无损检测。设备可应用于电子信息、航空航天等领域。
大视野拼接成像
GPU加速重建
辐射自屏蔽室、安全联锁
气孔率计算功能
检测尺寸
二维透视成像(DR)
三维断层扫描(CL)
二维透视成像(10%MTF-229lp/mm)
三维断层成像(优于10μm)