水蒸气浓度可调范围：1-1000ppm

蒸汽流量精度高，可达±1%

汽化率100%，汽化通道无死体积

亿科研发的ppm级水蒸气发生器可在气体环境中稳定生成百万分之一（ppm）级别的水蒸气，广泛应用于半导体制造、材料科学、医疗设备研发等对湿度控制要求严苛的领域。ppm级水蒸气发生器经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。

ppm级水蒸气发生器可支持客户各种进出口接口形式的定制；可支持远程控制；可支持实时在线数据的读取与保存；设备体积小，轻便，只有传统蒸汽发生器体积的十分之一；设备寿命长，正常使用10年以上，过程中无任何易损耗材需更换。

• 采用特殊算法

精确控制汽化进口的水流量和汽化过程中功率、液位、压力、温度等 最终达到对出口蒸汽的调节。精密控制精度，蒸发量大范围精准可调。

• 采用特殊汽化结构
  

大幅抑制汽化不均匀而产生的脉动汽化过程稳定，成份均匀。

• 模块化设计
  

结构简洁，接口和安装形式均可按应用快速定制，可集成，温度/湿度/压力可按需定制。

• 高效且瞬间汽化     
  

汽化率100%，比传统汽化效率更高 更快。

• 快速启动 数秒内可以完成启动   

• 设备体积小，轻便，只有传统蒸气发生器体积的十分之一  

• 流量精度确度高，可达±1%  

• 气化率100%，气化通道无死体积
  

• 出口温度调节范围广，范围从100至400℃

• 换热效率高，热损失小

• 出气稳定，不冷凝

• 进液流量 温度等参数可设置    

• 运行状态直观显示,可集联与远程   

• 可支持实时在线数据的读取与保存                      

• 可按需求定制    

• 设备寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换

• 一体压铸微通道汽化器    
  

微通道结构换热效果更快,能快速补充相变所需热量，液体进入通道能快速形成纳米

液膜气化波动小。

• 质量流量计控制流量 （按需选配）

流量控制精度达到1.5%，较传统的转子流量计精度(+/-5%以上)高出很多，确保混合气体输出浓度波动小，精度高。