赛德凯斯SC-UV-I+紫外臭氧清洗机是一款高性能的干法精细清洗设备，可广泛应用于单晶基片的清洗，确保更好的成膜质量。它还可以去除光刻胶，改善材料表面润湿性，清洗SEM和TEM样品，以及紫外活化聚合物等。该机型具有强大的加热功能，可加热至200℃，采用不锈钢材料制成，具有抽屉式样品台，气路预留接口，UV灯工作与抽屉操作互锁，定时器工作范围广泛，操作方便，控温范围宽广，为高效原子级别清洗提供了可靠的解决方案。

SC-UV系列紫外臭氧清洗机：是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。

紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

技术参数