主要性能参数(可定做包括KF接口等其他接口尺寸和带水冷法兰的非标产品)：

适用范围：1×10^-7Pa～1×105Pa

打开时插板上的压差：≤3×103Pa任意方向

阀体漏率：<10-8Pa·l/s

烘烤温度：阀体(打开时)≤200℃;气缸与阀体连接处<80℃

安装位置：任意

电源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

压缩空气(只适用于气动)

-DN 63～200：0.4～0.7MPa

-DN 250：0.5～0.7MPa

阀门开启或关闭时间：气动驱动：DN63～250≤6s