FEMS系列 薄膜铁电测量系统
FEMS系列薄膜铁电测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和把美国Radiant/德国aixACCT铁电分析仪集成化设计而成，是一款常温或高低温条件评估铁电薄膜电学性能综合性测量系统。该系统可以实现-160℃～400℃、空气和真空条件下测量铁电薄膜材料的电滞回线（Hysteresis）、疲劳（Fatigue）测试、漏电流测试（Leakage Current）等功能，广泛应用于高校、科研、航空航天、**院所等领域，是铁电薄膜材料的**测量系统。
测量原理
FEMS系列薄膜铁电测量系统由Partulab CPS-7000低温真空探针台、美国Radiant/德国aixACCT铁电分析仪和FEMeaskit铁电测量功能套件组成，该系统配备美国lakeshore 336温控仪与MEMS多功能材料电学测量分析软件无缝连接，实现铁电材料的变温电学测量 ，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。
样品温度准确性和温度性是整个低温系统的关键，系统配置三个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过检测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。
产品配置
| Partulab CPS系列低温真空探针台 配置： CPS-7000低温真空探针台（二选一） --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台 --SRS CTC-100温控仪及传感器 CPS-8000低温真空探针台（二选一） --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台 -SRS CTC-100温控仪及传感器 PPS-90真空辅助系统 --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量 VSZ70KIT 可视化视觉系统 --7:1变焦、彩色CCS、同轴环形光可调电源 |
Partulab CPS系列低温真空探针台 配置： --测量电压：±10V，±30V，±100V，±200V，±500V --电滞回线测试频率：0.03Hz～100KHz --最小泄露电路：1pA --电容测量频率：1Hz～1MHz --输出电阻：50Ω --最大电容：1μF --输出电流：＋/-50mA --电流放大器：1nA～1A | 
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| Partulab FEMeaskit 测量套件 配置： FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough --4个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆 CSH-DE 铁电同轴样品固定座 --模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好 DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具 --阻抗50Ω的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25μm PA-DE铁电测量探针臂 --铁电用的测量探针臂，带热忱 MEMS多功能材料电学测量分析软件 --附带全套铁电功能测量分析软件 |
技术参数
| 型号 | FEMS系列 |
探针臂个数：4个或6个 | 测量电压：±10V，±30V，±100V，±200V，±500V |
测量温度：：-160℃～400℃/10K～675K | 电滞回线测试频率：0.03Hz～100KHz |
降温时间：～45min to 110k | 最小泄露电流：1pA |
真空度：～10-6mbar | 电容测量频率：1Hz～1MHz |
最大样品尺寸：小于等于51mm | 碳化钨探针夹具阻抗：50Ω |
可视化系统：7:1变焦，彩色CCD，同轴环形光可调电源 |
XYZ位移平台行程：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm |
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