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SC-SU-I磁控溅射仪含真空泵含金属靶材
SC-SU-I磁控溅射仪含真空泵含金属靶材图片
型号:SC-SU-I
货号:scsu1
品牌:赛德凯斯
参考价格:40000元/台
交货期:现货
产地:北京
产地类别:国产合成反应设备


产品名称
金属镀膜磁控溅射仪
产品介绍

产品参数:

石英仓尺寸

150X120MM

样品台尺寸

70mm

溅射面积

50mm

最高真空度

5pa

可通气体

氩气,氮气等惰性气体

最高溅射速度

8nm/min

整机功率

200W

机器尺寸

360(W)X310(D)X150mm(H)

产品特色:

· 4.3寸彩色触摸屏,图形化界面操作简单方便;

· 石英腔分体结构设计,拆装方便;

· 基片台高度可调,旋转调节简单快捷;

· 可通工艺气体,流量调节快速方便;

· 溅射结束自动充气功能,方便开盖取放、片;

· 镀膜均匀致密,适用多种金属靶材;

· 多重软件保护设置,安全耐用;

· 外型紧凑小巧,节省空间;


性能参数: 

· 极限真空:20Pa左右;

· 工艺气路数:1路;

· 石英腔尺寸:Φ150*90mm;

· 靶材尺寸:Φ50*0.1mm;

· 基片台尺寸:Φ68mm,基片台可调范围:0~20mm;

· 适用基片尺寸:0~50mm;适用基片种类:Au,Ag,Pt等金属靶材;

· 真空泵功率:0.55KW;抽速:4L/S;

· 溅射仪外型尺寸:350mm(W)×335mm(D)×370mm(H);

· 真空泵外型尺寸:526mm(W)×176mm(D)×270mm(H);

· 产品质量:溅射仪,18 KG,真空泵,22KG。

· 宽电压适用,AC100-250V输入;


包装箱

箱号

名称

包装明细



序号

名称

数量

检查

1

SC-SU-I

1

主机

1




2

靶材(已安装)

1




3

Φ4

1




4

Φ18

1




5

喉箍

2





KF16卡箍

2




6

触控笔

1




7

电源线

1




8

电源延长线

1




9

说明书

1




10

合格证

1




11

质保卡

1




12

宣传册

1


2

真空泵(选配)

1

真空泵

1




2

油雾过滤器

1




3

油雾过滤器安装教程

1



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联系人: 林经理
地址: 北京市昌平区凉水河路1号院2号楼5层512
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